光氧催化廢氣處理是一種高效凈化大氣中有害廢氣的技術方法。其流程包括光氧催化裝置、催化劑催化反應和尾氣處理三個主要步驟。

可先，光氧催化裝置主要由光源、反應室和組成光反應系統的其他組件構成。光源通常采用高能紫外光燈，能發出大量紫外線，作為光氧催化反應的能量來源。反應室則是廢氣進入的空間，其內部表面往往涂有特殊的催化劑。

其次，廢氣進入光氧催化反應裝置后，與催化劑發生接觸并吸附在其表面。催化劑具有很強的催化活性，能夠促進廢氣中有害物質的氧化反應。因此，催化劑在光氧催化廢氣處理中起到至關重要的作用。

當廢氣分子接觸到催化劑表面時，受到激發并轉化為活性物質，如羥基自由基（OH·）、超氧自由基（O2·-）等。這些活性物質能夠與廢氣中的有機污染物相互作用，使其發生氧化降解反應。同時，活性物質還能夠破壞廢氣中的臭氧層，從而達到凈化空氣的效果。

比較后，經過催化反應后的廢氣需要進行尾氣處理。尾氣處理主要包括多級過濾、吸附和吸收等步驟。在多級過濾中，廢氣通過一系列過濾器進行顆粒物的去除，確保廢氣排放符合相應的排放標準。接下來，廢氣進一步經過吸附器，吸附劑能夠吸附廢氣中的氣態污染物，進一步提高廢氣的凈化效果。比較后，在吸收器中，利用化學吸收劑對廢氣進行洗滌處理，進一步去除殘留的有害成分，比較終得到較為純凈的廢氣。

光氧催化廢氣處理工藝流程圖如下所示：

[插入工藝流程圖]

總結起來，光氧催化廢氣處理工藝流程包括光氧催化裝置的搭建、催化劑的催化反應以及尾氣處理等步驟。通過催化劑的作用和光源的能量，廢氣中的有害物質得以氧化降解，比較終實現廢氣的治理和凈化。該工藝具有高效、無二次污染和可持續等優點，在環境保護領域具有廣闊的應用前景。