低溫等離子體廢氣處理是一種常見的環保技術，在工業生產中起到了重要的作用。其原理是通過利用高壓電場和電子與氣體分子的碰撞使廢氣中的有害物質轉化為無害物質。

低溫等離子體是一種由電子和離子組成的帶電粒子體，通過加熱氣體使分子內部的電子脫離原子形成離子，并在高壓電場的作用下形成的一種態。當廢氣進入低溫等離子設備后，高壓電場會將氣體分子擊碎，形成離子和自由基，這些帶電的粒子會與廢氣中的有害物質發生反應。

在反應過程中，一方面，帶電粒子會與廢氣中的有害物質直接碰撞并解離，使其分解成更簡單、無害的物質。另一方面，帶電粒子還能通過電子的輸運作用，將電能傳遞給廢氣中的分子，激發其內部能級躍遷，促使分子內部鍵的斷裂和化學反應的發生。比較終，有害物質會發生氧化、還原、水解等一系列反應，轉化成無害的物質或者進一步轉化成易于處理的物質。

此外，廢氣中的有機物和可燃性氣體還可以通過低溫等離子體生成的活性自由基氧化分解。自由基對廢氣中的有機物具有很高的化學反應活性，能夠迅速將其分解為二氧化碳、水和少量的無害物質。

值得注意的是，低溫等離子體廢氣處理還存在一些問題。可先，設備需要消耗較多的電能，并且設備運行時會產生大量的臭氧，帶來一定的安全隱患。此外，低溫等離子體廢氣處理的效果受到溫度、氣體組分、氣體流速等因素的影響，因此需要對設備進行適當的調試和優化，以確保處理效果達到比較不錯。

綜上所述，低溫等離子體廢氣處理技術通過利用高壓電場和帶電粒子與廢氣中的有害物質發生反應，將其轉化為無害物質或易于處理的物質。雖然存在一些問題，但在環保領域仍然具有廣泛的應用前景，并為解決工業廢氣治理難題提供了一種有效的解決方案。